净化工程

在一定空间范围内， 将空气中的微粒子、 有害空气、 细菌等污染物排除， 并将室内温度、 洁净度、 压力、 气流速度与气流分布、 噪音振动及照明、 静电控制在某一需求范围内的工程学科。 净化工程所特别设计的房间， 不论外在空气条件

如何变化， 室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、 温湿度及压力等性能。

昆山清阳净化工程有限公司在净化工程项目的建设中为您量身制定合适的方案， 合适的方案、 精湛的技术、 优质的材料和真诚的服务， 给您带来可靠的、性价比最优的净化工程和净化产品。 为此信念， 春立科技吸取净化科技行业先进

技术与管理经验为我所用， 持续改进， 精益求精。

1、 净化工程的作用：

控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度， 使产品能在一个良好之环境空间中生产、 制造。 此空间的设计施工过程即可称为净化工程。

2、 净化工程分类：

乱流式 (Turbulent Flow)

空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室， 并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。 气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。 此型式适用于洁净室等级 1,000-100,000 级。

优点： 构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所可并用无尘工作台，提高洁净室等级。

缺点： 乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出， 易污染制程产品。 另

外若系统停止运转再激活， 欲达需求之洁净度， 往往须耗时相当长一段时间。

层流式洁净厂房

层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由覆盖率 100%之过滤器进入室内， 并由高架地板或两侧隔墙板回风。 此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用， 一般其洁净室等级为 Class 1~100。 其型式可分为二种：

(1)水平层流式： 水平式空气自过滤器单方向吹出， 由对边墙壁之回风系统回风， 尘埃随风向排出室外， 一般在下流侧污染较严重。

优点： 构造简单， 运转后短时间内即可变成稳定。

缺点： 建造费用比乱流式高， 室内空间不易扩充。

(2)垂直层流式： 房间天花板完全以 ULPA 过滤器覆盖， 空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

优点： 管理容易， 运转开始短时间内即可达稳定状态， 不易为作业状态或作业人员所影响。

缺点： 构造费用较高， 弹性运用空间困难， 天花板之吊架相当占空间， 维修更换过滤器较麻烦。

复合式洁净室：

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用， 可提供局部超洁净之空气。

(1)洁净隧道： 以 HEPA 或 ULPA 过滤器将制程区域或工作区域 100%覆盖使洁净度等级提高至 10 级以上， 可节省安装运转费用。 此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及

品质。 ULSI 制程大都采用此种型式。

洁净隧道另有二项优点： A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

(2)洁净管道： 将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至 100 级以上。 因产品和作业员及发尘环境相互隔离， 少量之送风即可得到良好之洁净度， 可节省能源， 不需人工的自动化生产线为最适宜使用。 药品、 食品业界及半导体业界均适用。

(3)并装局部洁净室： 将洁净车间等级 10,000~100,000 之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为 10~1000 级以上， 以为生产之用；洁净工作台、 洁净工作棚、 洁净风柜即属此类。